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化学机械抛光液配方生产工艺技术专利及加工方法

时间:2021-07-28 10:57:40 点击:

  核心提示:1、一种自停止的GST化学机械抛光液及其制备方法和应用2、一种化学机械抛光用纳米抛光液3、一种化学机械抛光液以及抛光方法4、一种化学机械抛光液及使用方法5、一种硅片化学机械精抛抛光液的制备方法6、一种...
1、一种自停止的GST化学机械抛光液及其制备方法和应用
2、一种化学机械抛光用纳米抛光液
3、一种化学机械抛光液以及抛光方法
4、一种化学机械抛光液及使用方法
5、一种硅片化学机械精抛抛光液的制备方法
6、一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法
7、一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
8、一种用于半导体碳化硅芯片的化学机械抛光液
9、一种用于碳化硅化学机械抛光的抛光液
10、一种用于微晶玻璃的化学机械抛光液
11、一种抛光液供给性能核准装置和化学机械抛光系统
12、机械研磨润滑液、包含其的水基研磨抛光液及其应用
13、一种螺旋桨的化学机械抛光液及抛光方法
14、一种化学机械抛光液
15、一种通用化学机械抛光液
16、一种钇铝石榴石晶体的高效高质量化学机械抛光液
17、一种化学机械抛光液及其使用方法
18、用于铅化学机械抛光的粗抛抛光液及抗氧化工艺
19、一种化学机械抛光液
20、一种化学机械抛光液及其使用方法
21、一种化学机械抛光液
22、一种化学机械抛光液
23、一种FV520B材料叶轮叶片的化学机械抛光方法与抛光液
24、一种化学机械抛光液用硅溶胶及其制备方法
25、一种化学机械抛光液
26、一种相变材料复合磨料的化学机械抛光液及其应用
27、一种化学机械抛光液用氧化铝及其制备工艺
28、氮化镓化学机械抛光液及其制备方法
29、用于Ge-As-Se硫系玻璃光学表面加工的化学机械抛光液
30、一种化学机械抛光液
31、一种化学机械抛光液及其使用方法
32、一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液
33、一种铜化学机械抛光液及其制备方法
34、一种化学机械抛光液及其在铜抛光中的应用
35、一种化学机械抛光液
36、一种化学机械抛光液
37、一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液
38、用于铅化学机械抛光的抛光液及抗氧化工艺
39、一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液与抛光方法
40、一种化学机械抛光液
41、一种蓝宝石磁流变化学机械抛光液的制备方法
42、一种化学机械抛光液
43、一种化学机械抛光液
44、一种化学机械抛光液及其应用
45、适用于不锈钢抛光的化学机械抛光液及其用途
46、一种用于相变材料GeSbTe的化学机械抛光液
47、一种精密机械部件用抛光液及其加工方法
48、一种化学机械抛光液及其应用
49、一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法
50、一种高精度机械抛光液制备方法
51、一种化学机械抛光液
52、可更换抛光液的光化学机械加工平台及抛光液更换方法
53、一种化学机械抛光液
54、适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液
55、一种化学机械抛光液及其应用
56、一种化学机械抛光液及其应用
57、一种化学机械抛光液
58、一种制备pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液的方法
59、一种用于机械的抛光液及其加工工艺
60、一种化学机械抛光液
61、一种化学机械抛光液及其应用
62、一种化学机械抛光液及其应用
63、一种铜片化学机械抛光液
64、一种化学机械抛光液
65、一种用于混合抛光液的机械分散方法
66、一种化学机械抛光液
67、一种蓝宝石化学机械抛光液及其制备方法
68、一种化学机械抛光液及其应用
69、一种高精度机械抛光液制备方法
70、一种pH稳定性提高的碳化硅化学机械抛光液及其应用
71、一种化学机械抛光液及其应用
72、一种化学机械抛光液
73、一种化学机械抛光液
74、一种用于抛光钨的化学机械抛光液
75、一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂和抛光液及其制备方法
76、一种化学机械抛光液
77、一种化学机械抛光液
78、一种化学机械抛光液
79、一种化学机械抛光液
80、一种化学机械抛光液
81、一种化学机械抛光液
82、一种化学机械抛光液
83、一种低污染环保型化学机械抛光液
84、一种用于氧化锆陶瓷的化学机械抛光液及其制备方法和用途
85、一种化学机械抛光液
86、一种化学机械抛光液
87、一种氮化镓晶片光电化学机械抛光液及抛光方法
88、一种化学机械抛光液
89、一种化学机械抛光液
90、一种化学机械抛光液
91、一种化学机械抛光液
92、一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法
93、一种化学机械抛光液
94、一种可有效应用于不锈钢衬底化学机械抛光工艺的抛光液
95、一种锗晶体化学机械抛光的抛光液及使用方法
96、一种氧化铝基化学机械抛光液
97、一种精密加工用化学机械抛光液
98、一种化学机械抛光液
99、一种化学机械抛光液
100、一种化学机械抛光液
101、一种化学机械抛光液
102、一种具有高氮化硅选择性的化学机械抛光液
103、一种化学机械抛光液及其应用
104、一种氮化硅化学机械抛光液
105、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液
106、一种绿色无毒化学机械抛光液的制备方法
107、一种化学机械抛光液及其制备方法
108、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液
109、一种氧化铈晶体的制备方法及其在化学机械抛光液中的应用
110、一种机械部件抛光液的制备方法
111、一种蓝宝石化学机械抛光液
112、一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法
113、一种化学机械抛光液
114、一种化学机械抛光液
115、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液
116、一种氧化铝基化学机械抛光液
117、一种化学机械抛光液
118、一种化学机械抛光液及其应用
119、一种制备EBSD样品的机械抛光液、制备方法及机械抛光方法
120、一种化学机械抛光液及其应用
121、一种化学机械抛光液及其制备方法
122、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液
123、用于精密机械不锈钢零件的抛光液的制备方法
124、一种机械设备用环保型防锈抛光液
125、一种氮化硅化学机械抛光液
126、一种碱性化学机械抛光液
127、一种用于不锈钢材质的机械设备的抛光液及其制备方法
128、一种纳米级不锈钢精密机械抛光液及其制备方法
129、一种酸性化学机械抛光液
130、一种酸性化学机械抛光液
131、一种用于STI领域的化学机械抛光液及其应用
132、一种酸性化学机械抛光液
133、一种碱性的阻挡层化学机械抛光液
134、一种化学机械抛光液及其应用
135、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液
136、一种低污染环保型化学机械抛光液
137、用于钴阻挡层结构化学机械抛光的抛光液及其应用
138、一种化学机械抛光液及其在抛光ULK-铜互连制程中阻挡层的应用
139、一种化学机械抛光液及其应用
140、一种含复合磨料的化学机械抛光液
141、一种化学机械抛光液及其应用
142、一种无腐蚀抗氧化的机械设备抛光液
143、一种化学机械抛光液及其应用
144、一种低污染机械抛光液
145、一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液
146、一种氮唑类化合物在提高化学机械抛光液稳定性中的应用
147、一种化学机械抛光液及其制备方法
148、一种碳化硅用机械抛光液及采用其进行机械抛光的方法
149、一种改进的机械加工设备用抛光液
150、一种相变存储器材料用机械抛光液
151、一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺
152、一种用于机械设备的无腐蚀的抛光液
153、一种用于钛的化学机械抛光液
154、一种化学机械抛光液
155、一种化学机械抛光液
156、一种适用于钴阻挡层的碱性化学机械抛光液
157、一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液
158、一种考虑抛光液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法
159、一种含有石墨烯的化学机械抛光液
160、一种化学机械抛光液
161、一种防腐抗摩擦的机械设备抛光液
162、一种具有防锈作用的化学机械抛光液及其制备方法
163、一种化学机械抛光液在提高钽抛光速率中的应用
164、一种高效环保型相变存储器用机械抛光液
165、一种用于蓝宝石化学机械平坦化的抛光液
166、一种稳定的机械设备抛光液
167、一种氧化铝基化学机械抛光液
168、一种化学机械抛光液
169、一种化学机械抛光液
170、一种新型用于机械设备的抛光液
171、一种低价电材料机械抛光液
172、一种硅化学机械抛光液
173、锗晶体化学机械抛光的抛光液及使用方法
174、一种氧化铝基化学机械抛光液
175、一种化学机械抛光液及其应用
176、一种化学机械抛光液及其应用
177、一种包含双氧化剂的GST化学机械抛光液及其制备方法和用途
178、一种化学机械抛光液
179、一种用于抛光二氧化硅基材的化学机械抛光液
180、一种碱性阻挡层化学机械抛光液
181、一种环保介电层材料化学机械抛光液
182、一种二氧化硅介电材料用化学机械抛光液及其制备方法
183、一种存储器用机械抛光液
184、一种化学机械抛光液及其应用
185、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法
186、一种化学机械抛光液及其应用
187、一种化学机械抛光液及其使用方法
188、一种用于铝的化学机械抛光液及使用方法
189、一种机械设备无腐蚀的抛光液
190、一种用于抛光硅材料的化学机械抛光液
191、一种用于钴阻挡层抛光的化学机械抛光液
192、一种碱性化学机械抛光液在提高钽抛光速率中的应用
193、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法
194、一种相变材料用机械抛光液
195、一种化学机械抛光液及其应用
196、一种化学机械抛光液
197、一种化学机械抛光液以及应用
198、一种介电层材料化学机械抛光液
199、一种化学机械抛光液以及抛光方法
200、一种应用于STI领域的化学机械抛光液及其使用方法
201、一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液及其使用方法
202、一种化学机械抛光液以及抛光方法
203、一种用于抛光低介电材料的化学机械抛光液
204、一种化学机械设备抛光液
205、含硅有机化合物在延长化学机械抛光液中研磨颗粒稳定性中的应用

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