核心提示:一种宽量程的MEMS真空计及其制作方法,该MEMS真空计包括本体和键合在本体上方的盖板,本体包括具有腔体的衬底一,形成于衬底一及腔体上表面的介质层,以及形成于介质层上表面、且局部位于腔体上方的热敏部件...
一种宽量程的MEMS真空计及其制作方法,该MEMS真空计包括本体和键合在本体上方的盖板,本体包括具有腔体的衬底一,形成于衬底一及腔体上表面的介质层,以及形成于介质层上表面、且局部位于腔体上方的热敏部件;盖板包括衬底二,衬底二下表面通过环形支撑柱与本体键合,位于热敏部件上方的衬底二下表面形成有微纳结构,支撑柱之间存在导气通道。本发明通过设置盖板,减小了加热器与热沉之间的垂直距离,有利于提高MEMS真空计的测量上限,同时盖板上的微纳结构有利于增大加热器与热沉间气体热传导的面积,即有利于增加气体的热传导,从而提高MEMS真空计的测量下限。因此,本发明的MEMS真空计可有效扩展测量范围,实现宽量程。